「成膜のコストを10分の1に」 GaAs太陽電池の普及へ、低コストな製造法を開発 基板回転で成膜した2インチウエハー上の5μm厚GaAs膜の膜厚分布 (クリックで拡大) 出典:産総研 記事に戻る 庄司智昭,スマートジャパン