日本政府が最大465億円の助成を行うマイクロンメモリ ジャパンの広島工場に行ってみた

ウェハーは、AMHS(Autometed Material Handling System)システムで自動搬送される。動線は2層化されており、上が高速(Highway)、下は低速(Cityway)で、渋滞をなくすためにリアルタイムの監視と最適化が図られているという