フリースケール・セミコンダクタが仙台デザインセンターを公開 X-Y軸方向の加速度センサーチップのウエハー。MEMSセンサーチップはフリースケールでは東北セミコンダクタがほとんどを製造している 記事に戻る 佐々木千之,ITmedia