住友金属鉱山が12インチSiC基板を開発、サンプル出荷へ

左から、6インチ(150mm)、8インチ(200mm)のSiCkrest、開発に成功した12インチ(300mm)のSiCkrest[クリックで拡大] 出所:住友金属鉱山