ウエハー研磨時の状態推移など　富士フイルムが圧力変化をリアルタイム可視化

図1：発色した「プレスケール」を読み取り、最大加圧時の圧力値や圧力分布といった静的圧力データを可視化。図2：面圧センサーで取得した加圧開始〜終了までの圧力のかかり具合をリアルタイムに可視化。図3：1で取得した最大加圧時の静的圧力データと、2で取得した加圧過程の動的圧力データを組み合わせて評価［クリックで拡大］ 出所：富士フイルム