半導体パッケージの反りを抑制、三菱ケミカルが「負膨張フィラー」量産へ

左：三菱ケミカルの負膨張フィラー（粉末）、右：粒子（電子顕微鏡写真）［クリックで拡大］ 出所：三菱ケミカル