三菱ケミカル、最先端半導体向け「超高純度コロイダルシリカ」事業化 ニーズに合わせてカスタマイズできる同社の超高純度コロイダルシリカ[クリックで拡大] 出所:三菱ケミカル 記事に戻る 遠藤和宏,MONOist