波長3μm付近の中赤外光を検知、分子ごとの特徴を読み取れる小型赤外光センサー

試作したiTCO/p型GeSn/n型Geフォトダイオードの断面構造とデバイス顕微鏡像［クリックで拡大］ 出所：NEC