2nmノードのGAAトランジスタの製造課題を解消する3機種 従来機「Sym3 Z with PVT」とSym3 Z Magnum with PVT2の比較のイメージ[クリックで拡大] 出所:アプライドマテリアルズジャパン 記事に戻る 遠藤和宏,MONOist