ウエハー状態のまま先端半導体向け絶縁膜の総合評価が行えるサービス提供開始

絶縁膜の電気特性評価の流れ。従来評価プロセス（上）、TRCの新規評価プロセス（下）［クリックで拡大］ 出所：東レリサーチセンター