高温接合で熱反りを低減、ダイヤモンドとシリコンの複合ウエハーの製造に成功

（左）ダイヤモンドとシリコンの熱膨張係数は温度変化し、600℃近辺で逆転する。（中）熱膨張量の計算式。（右）ダイヤモンドとシリコンの熱膨張のモデル［クリックで拡大］ 出所：産業技術総合研究所