半導体製造工程に垂直多関節？　その疑問に答える三菱クリーンロボットの実力

図1 ロングリーチタイプの垂直多関節クリーンロボット「RV-20FRL」。最大可搬質量は20kgである。全高（第3軸の頂点部）1143mm、本体質量130kgと、業界最小クラスを実現した［クリックで拡大］提供：三菱電機