半導体製造工程に垂直多関節？　その疑問に答える三菱クリーンロボットの実力

図2 三菱電機の垂直多関節クリーンロボットで構成したFOUP搬送システムの導入事例。幅1600mm×奥行2650mm×高さ2350mmに収められている［クリックで拡大］提供：三菱電機