紫外半導体レーザーの出力を倍増、ヌヴォトンがマスクレス露光の進化に貢献

紫外半導体レーザーにおけるワットクラスの高出力化により先端半導体パッケージ向けマスクレス露光装置の課題を解決［クリックで拡大］ 出所：ヌヴォトン テクノロジージャパン