紫外半導体レーザーの出力を倍増、ヌヴォトンがマスクレス露光の進化に貢献

フォトマスクを用いた露光装置と半導体レーザーによるマスクレス露光の比較［クリックで拡大］ 出所：ヌヴォトン テクノロジージャパン