真空吸着システムに対する状態監視の必要性

デバイスによる自律的状態監視の例：吸着運転を続けながら、想定される故障モードに応じて複数の観点で常に観測、診断し、上位システムへ状態を報告する［クリックで拡大］出所：シュマルツ