真空吸着システムに対する状態監視の必要性

真空圧の推移から劣化を推し量る方法：真空回路を逆止弁で閉鎖している間に、単位時間当たりの真空圧の弱まりを計測することで、パッドからの真空漏れの程度を推し量ることができる［クリックで拡大］出所：シュマルツ