真空吸着システムに対する状態監視の必要性

真空パッドの劣化を示唆する特徴的な真空圧推移：パッドからの真空漏れとそれを補填するための真空生成が交互に起きるため、不連続な変化が短い時間の間に繰り返される［クリックで拡大］出所：シュマルツ