真空吸着システムに対する状態監視の必要性

長期使用の間に劣化した吸着パッドの実例2：繰り返しの吸着動作によって吸着面が損耗したことにより、パッド内圧を保ちづらくなってしまっている［クリックで拡大］出所：シュマルツ