東京エレクトロンの「Epsira」とは何か 2030年の半導体技術に向けてDXを推進 半導体のR&DにEpsiraを活用することで可能になること[クリックして拡大] 出所:東京エレクトロン 記事に戻る 坪田澪樹,MONOist