東京エレクトロンの「Epsira」とは何か 2030年の半導体技術に向けてDXを推進 サプライチェーンにおけるネットゼロに向けた取り組み[クリックして拡大] 出所:東京エレクトロン 記事に戻る 坪田澪樹,MONOist