SiTimeが振動子もシリコンMEMS化、5つの周波数全てを0505サイズで提供 SiTimeのシリコンMEMSタイミングデバイスを構成する独自技術[クリックして拡大]出所:SiTime Japan 記事に戻る 坪田澪樹,MONOist