メモリ動作の低電圧化や消費電力の削減に貢献する新たな強誘電体窒化物

AlとGaの組成に依存せず、Sc／（Ga＋Al＋Sc）比によって比誘電率が増加している［クリックで拡大］ 出所：東京科学大学