異なるウエハーサイズでも異種材料集積を実現するタイリングCFB技術を開発

2インチInPウエハーの実物写真（左）とタイリングCFBを行った300mmのシリコンウエハーの実物写真（右）［クリックで拡大］ 出所：OKI