MLCC強誘電体界面の電荷分布直接観察に成功　理解と性能向上を加速

図4 OBF法によるドメイン界面近傍の原子変位計測と分極電荷。（a）：HH界面のOBF STEM像、（b）：（a）から原子変位を計測したプロファイルで縦軸はTa原子カラムの変位量、（c）：（b）から計算した分極プロファイル、（d）：TT界面のOBF STEM像、（e）：（d）から原子変位を計測したプロファイルで、縦軸はTa原子カラムの変位量、（f）：（e）から計算した分極プロファイルでスケールバーは1ナノメートル［クリックで拡大］ 出所：JST