GaNデバイスの真価は縦型にあり、豊田合成がGaNウエハーとGaN-MOSFETを披露

豊田合成が披露したGaNウエハーとGaN-MOSFETにの研究開発成果。上側がGaNウエハーの製造プロセスで、下側がGaNウエハーに作り込んだGaN-MOSFETとパワーモジュール［クリックで拡大］