次世代太陽電池用SnS薄膜の最適組成を新手法で解明

硫黄プラズマ援用スパッタリング法の模式図。装置の全体像（a）と硫黄プラズマ供給装置の内部の様子（b）［クリックで拡大］ 出所：東北大学