データ駆動型レーザー加工技術　ガラス表面ナノ加工時の欠損率を30分の1に

（a）ナノ周期構造の検出原理と（b）レーザー加工時モニタリングデータ（相対反射率、相対透過率）、加工表面の相関［クリックで拡大］ 出所：産業技術総合研究所