電子顕微鏡が日立ハイテクの新たな第3の柱を生み出す、測長SEMや医用機器に続け

FE-TEM／STEM「HF5000」。加速電圧が200kVと高いため大型の装置になっている。TEM分解能が0.102nm、STEM分解能が0.078nmで、まさにサブnmオーダーの測定ができる［クリックで拡大］