電子顕微鏡が日立ハイテクの新たな第3の柱を生み出す、測長SEMや医用機器に続け

FIB-SEM複合装置「Ethos NX5000」。FIB（集束イオンビーム）による加工とSEMによる観察が1台で行える［クリックで拡大］