nmスケールの極微小欠陥をワンショットで検出、東芝が半導体検査装置向けに提案

新たなワンショット光学検査技術の光学系。ストライプ状カラーフィルターの採用で反射光の角度分布をより高精度に得られるようになった［クリックで拡大］ 出所：東芝