nmスケールの極微小欠陥をワンショットで検出、東芝が半導体検査装置向けに提案

ワンショット光学検査技術は、1枚の画像から光の角度分布に当たるBRDF情報を取得することで、検査対象の表面にある欠陥によって発生する高低差を検出できる［クリックで拡大］ 出所：東芝