“使える”シミュレーションとAIはマテリアルズインフォマティクスをどう変える? CMPスラリーによりシリコンウェハー表面が研磨される際のシミュレーション[クリックで拡大] 出所:旭化成 記事に戻る 遠藤和宏,MONOist