黒鉛ルツボの劣化を抑える、炭化タンタルの厚膜コーティング技術を開発

左：黒鉛ルツボによるSiC結晶生成の概要。中：従来法では、目的の場所以外にもSiC結晶が固着する。右：「SinTaC」と表面加工により、目的の場所以外のSiC結晶の固着を抑制［クリックで拡大］ 出所：豊田中央研究所