「卓上で半導体製造」実現を目指すミニマルファブ、研究開発や教育向けで導入加速 共通筐体を生かし自動搬送機構を設置。CEATEC会場では自動搬送のデモを行った[クリックで拡大] 記事に戻る 三島一孝,MONOist