「卓上で半導体製造」実現を目指すミニマルファブ、研究開発や教育向けで導入加速

ミニマルファブによる各種半導体プロセスに対応した製造装置。共通筐体で機能部のモジュールを入れ替える形となっている［クリックで拡大］