「卓上で半導体製造」実現を目指すミニマルファブ、研究開発や教育向けで導入加速 ミニマルファブのハーフインチウエハーとミニマルシャトル[クリックで拡大] 出所:産業技術総合研究所 記事に戻る 三島一孝,MONOist