ダイヤモンド結晶をシリコン振動子上に固定した微小機械応力センシングを開発

（左）シリコン製カンチレバーの根元部にナノダイヤモンドを固定して蛍光強度計測する。（右）シリコン表面に分散して点在しているナノダイヤモンドの画像とデバイスの断面図［クリックで拡大］ 出所：東北大学