極低温絶縁膜エッチング技術の第3世代を開発、メモリホールの垂直性を1.6倍に

「Vantex Cシリーズ」に搭載されたLam Cryo 3.0のパフォーマンスの比較［クリックで拡大］ 出所：ラムリサーチ