ついに始まった外観検査と生成AIの融合――画像センシング展2024レポート

独自の光干渉テクノロジーを用いた大面積パーティクル可視光検査照明装置「L-FRONT」。ウエハーに付着している微細なホコリが明瞭化されている［クリックで拡大］