4インチ窒化アルミニウム単結晶基板のサンプル提供を2024年度下期に開始 過去に製造した使用可能面積90%のAlN基板(左)と今回製造に成功した同99.3%の基板(右)[クリックで拡大] 出所:旭化成 記事に戻る 遠藤和宏,MONOist