太陽ホールディングスが開発を進める、半導体向け高解像度感光性絶縁材料の性能とは? 8インチウエハープロセスにおける高解像度感光性絶縁材料の信頼性試験[クリックで拡大] 出所:太陽ホールディングス 記事に戻る 遠藤和宏,MONOist