太陽ホールディングスが開発を進める、半導体向け高解像度感光性絶縁材料の性能とは? 高解像度感光性絶縁材料のプロセスと解像性(左)、8インチウエハープロセスで検証(右)[クリックで拡大] 出所:太陽ホールディングス 記事に戻る 遠藤和宏,MONOist