太陽ホールディングスが開発を進める、半導体向け高解像度感光性絶縁材料の性能とは？

高解像度感光性絶縁材料のプロセスと解像性（左）、8インチウエハープロセスで検証（右）［クリックで拡大］ 出所：太陽ホールディングス