DNPが2nm世代のEUVリソグラフィ向けフォトマスク製造プロセス開発を本格的に開始

フォトマスクの保護フィルムであるペリクル付きEUVリソグラフィ向けフォトマスクのイメージ図［クリックで拡大］ 出所：DNP