セラミックス内部に発生する亀裂や気孔を可視化して検出する技術を開発

（左）粗大気孔を有する窒化ケイ素の金属顕微鏡を用いた反射像、（右）同じ箇所を、レーザーを用いた蛍光顕微鏡で観察した、表面から約3μm下の蛍光像［クリックで拡大］ 出所：産業技術総合研究所