レーザー光によりナノメートルスケールで微細加工する技術を開発

（a）放射状の偏光分布を持つリング状ベクトルビームでガラス裏面に集光した際の模式図、（b）ベクトルビーム（波長1040nm）に対してリングマスクの外径、内径比を変えながら開口数1.4の油浸対物レンズでガラス裏面に集光した場合の界面でのスポットサイズを各条件で計算した結果［クリックで拡大］ 出所：東北大学