ハンコのように回路を形成、ナノインプリントリソグラフィ技術の半導体製造装置 ナノインプリントリソグラフィ(NIL)技術を活用した半導体製造装置「FPA-1200NZ2C」[クリックで拡大]出所:キヤノン 記事に戻る 長沢正博,MONOist