インテルがガラス基板で半導体進化の限界を打ち破る、2020年代後半に量産適用

ガラス基板の研究開発ライン内で、露光後にレジストを剥離する装置(左)。ガラス基板のコアは液晶パネルと同様にガラスパネル上に複数作り込まれる(右)[クリックで拡大] 出所:インテル

ガラス基板の研究開発ライン内で、露光後にレジストを剥離する装置(左)。ガラス基板のコアは液晶パネルと同様にガラスパネル上に複数作り込まれる(右)[クリックで拡大] 出所:インテル