KOAが新型酸素センサーを開発、ほぼゼロ酸素濃度からの測定が可能に

KOAの酸素センサー。中央にあるセンサーの左側は、想定用途の1つである半導体製造装置、右側は想定用途のもう1つであるマンホール内でのメンテナンス作業をイメージしている［クリックで拡大］